島津分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。采用氣體靜承和動密封的復(fù)合分子泵，可以做到無油，且不用前級泵直接向大氣中排氣。
 

　　島津分子泵的工作原理：
 

　　分子泵的抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同，利用了動量傳遞原理，使分子定向流動而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。
 

　　分子泵在電機(jī)的帶動下高速旋轉(zhuǎn)，采用變頻電源驅(qū)動電機(jī)，目的是得到較高的轉(zhuǎn)速。在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)到的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運(yùn)動方向上，產(chǎn)生定向流動而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。
 

　　通常把用高速運(yùn)動的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運(yùn)動的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象，利用這一現(xiàn)象制成的真空泵稱為牽引分子泵(蓋德泵)。牽引分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動時(shí)間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸氣，特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機(jī)械故降，而且制造困難，實(shí)際上很少應(yīng)用。后來對牽引分子泵進(jìn)行了改進(jìn)，出現(xiàn)了渦輪分子泵。
 

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